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HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统(GR314)

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统(GR314)
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型号规格

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统 简介

产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
质量流量计/控制器
可售卖地
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价格区间
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供货总量
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售后服务
完善
产品简介
GR-300 系列可以控制用于冷却晶圆背面的气体，晶圆通过静电卡盘系统固定到位。 GR-300 系列的稳定性和精确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统(GR314) 介绍

型号：GR314
压力控制范围：1-100%
压力：13.33KPA(100Torr)
压力精度：±0.5%FS
压力输出：0-100%
电源：24VDC

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统 详情介绍

优点：
压力控制更加稳定和精确

即使压差非常低，也使用高精度压电阀来控制压力。安装了一个高精度的压力传感器，用于测量<1%F.S范围内的出口压力。


质量流量传感器（可选）

永盛彩票通过应用HORIBA STEC 质量流量产品中成熟的流体控制技术，该产品能够实现微小的差压控制，并添加气体流量监测（带质量流量传感器）以实现自诊断功能。

符合 RoHS 标准

永盛彩票GR-300系列使用不破坏环境且符合最新RoHS法规的零件

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统产品规格

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统参数

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统参数

HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统参数

关于进佳仪器

永盛彩票，拥有多个国外仪表行业品牌的授权代理证，旗下每一个品牌均历经市场的考验。公司团队拥有丰富的从业经验以及扎实的专业知识，对各个品牌的产品优势和市场定位有深入了解。公司始终秉持以客户为中心的理念，致力于为客户提供全方位、个性化的服务解决方案。

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