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日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV(LF-F50M-A)

(LF-F50M-A)
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日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV 简介

产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
质量流量计/控制器
可售卖地
面议
价格区间
面议
供货总量
面议
售后服务
完善
产品简介
随着半导体器件快速一体化的发展，越来越多的细节需要考虑其中，同时新的材料也被引入 300nm 晶圆制程以确保产品性能。在这样的背景下，更多的液体被应用到半导体生产过程中，流量需求不断增大。作为该领域的领导者，HORIBA STEC 提供了一整套的液体源汽化控制系统，利用加热、直接注入、混合注入等不同方式确保平稳有效的将气体传送到反应室。自动供液系统能不间断的安全可靠的传输液体，从而提高工作效率，同时有效降低了操作员的手动操作以及制程污染风险。

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV(LF-F50M-A) 介绍

型号：LF-F50M-A
类型：流量计
电源：±15V
精度：±1% F.S.
测量范围：5-100% F.S.
输出方式：模拟: 0 to 5 VDC 数字: RS485
温度：5to50℃ (精度保证15to45℃)
接液材质：SUS316L, Ni
量程g/min：10/20

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV 详情介绍

数字式液体质量流量计LF-F

这是一款具备冷却测试方式的液体质量流量计，可精确检测低沸点和高粘度液体的流量，仪器内部进行超洁净处理并符合RoHS 环境标准

  • 提供超低微小流量检测
  • 抗压性 : 10MPa
  • 超洁净

数字式液体质量流量计LV-F

这是一款具备冷却测试方式的流量传感器，可精确控制低沸点和高粘度液体的流量，仪器内部进行超洁净处理并符合 RoHS 环境标准

  • 提供超低微小流量控制
  • 可精准控制低沸点和高粘度液体
  • 抗压性 : 1MPa
  • 超洁净

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV产品规格

日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV参数

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